「セラジン®」とは
窒化アルミ系(AlN)セラミックスに特殊樹脂を含浸複合した構造をなし、高熱伝導率・高絶縁耐圧・Si相当な熱膨張率で、機械加工に於いて「快削性」を特徴とする素材です。
新たに販売する製品
①「ウエハー・トレー(Tray)」
MEMS・半導体製造に於けるハロゲン系
プラズマプロセス装置の真空中、
ウエハー移送用の「Tray」
②「厚銅板張パワーモジュール用放熱基板」
③「300℃耐熱銅張積層基板」
SiCやGaNからなるパワー半導体素子の
バーインボード基板に
是非ともご検討賜りたく御願い申し上げます。
株式会社ケミックス
代表取締役社長
田中 勉