窒化アルミ(AlN)系樹脂複合焼結セラミック製のウエハー・トレー
品名 セラジン®「トレー(Tray)」

「セラジン・トレー」はMEMS、半導体デバイス製造に於いて、ハロゲンガス等、 プラズマ・プロセス装置の真空下でSiウエハーをトレーに載せ静電浮上・搬送が可能なウエハー・トレーです。

主な特徴
*耐久性が良く、デバイス不良率の低減が計れます。
*機械加工性が良く、精密形状が可能(厚さ0.3mm、穴φ60μm、Ra0.07鏡面可)
*熱伝導率:70W/mK
*絶縁破壊電圧:22kV/mm
*熱膨係数(4.2ppm)(Si相当)
 (その他データを参照下さい)

用途
*プラズマ・エッチング(RIE、ECR等)
*プラズマ・イオン注入
*プラズマ・CVD
*プラズマ・スパッタ
等の装置でSAWフィルターや加速度センサー等々のウエハー・トレーとして。

仕 様
測定項目 単位 セラジン「トレー」
窒化アルミ系
(AlN)
アルミナ系
(Al2O3)
サイズ(直径×厚さ) mm Φ180迄×0.3t以上 Φ300迄×0.5t以上
面粗度 μm Ra 0.5
(鏡面0.05)
Ra 0.5
(鏡面0.05)
耐熱性 300(エッチング用途)
800以上(CVD用途)
耐ハロゲン・プラズマ
エッチングレート
nm/min CF4 - 25
SF6 - 15.6
(サファイア相当)
CF4 - 59.3
SF6 - 21.5
真空アウトガス性 300℃ (m/z=18)付着水分以外、殆ど無し。
その他   ROHS規制・適合
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Products | 商品紹介

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