「セラジン・トレー」はMEMS、半導体デバイス製造に於いて、ハロゲンガス等、 プラズマ・プロセス装置の真空下でSiウエハーをトレーに載せ静電浮上・搬送が可能なウエハー・トレーです。

主な特徴
*耐久性が良く、デバイス不良率の低減が計れます。
*機械加工性が良く、精密形状が可能(厚さ0.3mm、穴φ60μm、Ra0.07鏡面可)
*熱伝導率：70W/mK
*絶縁破壊電圧：22kV/mm
*熱膨係数（4.2ppm）（Si相当)
　(その他データを参照下さい)

用途
*プラズマ・エッチング(RIE、ECR等)
*プラズマ・イオン注入
*プラズマ・CVD
*プラズマ・スパッタ
等の装置でSAWフィルターや加速度センサー等々のウエハー・トレーとして。

仕　様

測定項目	単位	セラジン「トレー」
		窒化アルミ系 （AlN）	アルミナ系 （Al2O3）
サイズ（直径×厚さ）	mm	Φ180迄×0.3t以上	Φ300迄×0.5t以上
面粗度	μｍ	Ra 0.5 （鏡面0.05）	Ra 0.5 （鏡面0.05）
耐熱性	℃	300(エッチング用途) 800以上(CVD用途)
耐ハロゲン・プラズマ エッチングレート	nm/min	CF4　－　25 SF6　－　15.6 （サファイア相当）	CF4　－　59.3 SF6　－　21.5
真空アウトガス性	300℃	（m/z=18)付着水分以外、殆ど無し。
その他		ROHS規制・適合

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